DUV 리소그래피 기계 시장 규모, 점유율, 성장 및 산업 분석, 유형별(건식 및 수중), 애플리케이션별(IDM(통합 장치 제조업체), 파운드리 및 기타) 및 2035년까지 지역 예측

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DUV 리소그래피 기계 시장 개요

글로벌 DUV 리소그래피 기계 시장은 2025년 110억 5천만 달러에서 2026년 122억 1천만 달러로 성장하고, 2035년에는 305억 3천만 달러에 도달하여 2025년에서 2035년 사이에 연평균 성장률(CAGR) 10.5%로 성장할 것으로 예상됩니다.

심자외선(DUV) 리소그래피 기계 시장은 반도체 산업 운영자가 포토리소그래피 공정을 통해 고급 마이크로칩을 만들 수 있도록 하기 때문에 반도체 제조의 중요한 구성 요소입니다. 반도체 웨이퍼 패터닝 공정에는 193nm ArF(Argon Fluoride)와 KrF(Krypton Fluoride)를 모두 사용하여 레이저 작업을 실행하는 DUV 리소그래피가 필요합니다. EUV 리소그래피가 고급 노드에 대한 가능성을 보여주었음에도 불구하고 DUV 기술은 저비용 생산과 자동차 부문은 물론 가전제품 생산 전반에 걸쳐 사용할 수 있는 안정적인 성능으로 인해 28nm 및 이후 애플리케이션과 같은 성숙한 제조 부문을 계속해서 지배하고 있습니다.통신시장. ASML(네덜란드 기업)은 니콘(일본), 캐논(일본)과 함께 기술 혁신을 통해 DUV 노광 시장을 선도하고 있다.

AI, 5G 및 IoT 애플리케이션 전반에 걸쳐 증가하는 수요를 충족하기 위해 수많은 기업이 최첨단 및 성숙한 노드 칩 제조에 투자하기 때문에 반도체 시장이 성장하고 있습니다. IDM(Integrated Device Manufacturer)과 함께 금속 산업에서는 반도체 산업 공급 위기 상황에서 생산 능력을 향상시키기 위해 DUV 시스템이 필요합니다. DUV 리소그래피의 지속적인 관련성은 EUV 시스템과 병행하여 유용성을 확장하는 더 나은 다중 패터닝 방법에 의해 뒷받침됩니다. 시장은 지정학적으로 인한 무역 제한과 공급망 내 제한, 그리고 향후 확장 패턴에 영향을 줄 수 있는 값비싼 장비로 인해 어려움을 겪고 있습니다. 중국, 대만, 한국, 일본이 주도하는 아시아 태평양 지역은 DUV 리소그래피 제조 및 소비의 가장 큰 시장으로 자리매김하는 동시에 현지 반도체 기술을 강화하여 서구 공급업체에 대한 의존도를 줄입니다.

주요 결과

코로나19 영향

DUV 노광기계 산업, 코로나19 팬데믹 기간 칩 제조 투자 증가로 긍정적 효과

DUV 리소그래피 기계 시장은 코로나19 팬데믹으로 인해 공급망과 생산 수준이 여행 제한과 함께 폐쇄 및 반도체 공장 폐쇄로 인해 처음으로 어려움을 겪었기 때문에 모순된 영향을 겪었습니다. 업계에서는 광학 레이저, 정밀 기계 부품 등 필수 부품이 부족해 장비 납품이 지연되고 반도체 제조 일정에 영향을 미쳤습니다. 반도체 기업들은 당시 불확실한 재무 상황으로 인해 자본 지출을 축소하기로 결정했습니다. 반도체 생산은 데이터 센터 운영 증가와 함께 소비자 가전에 대한 수요 증가로 인해 대유행 기간 동안 빠른 회복을 보였습니다.클라우드 컴퓨팅서비스를 통해 DUV 리소그래피 시스템 시장을 확대합니다.

DUV 리소그래피 시장은 전 세계적인 반도체 적자와 칩 공장 확장에 대한 투자 증가로 인해 팬데믹 이후 견고한 성장과 회복을 보여주었습니다. 다양한 파운드리와 IDM(Integrated Device Manufacturer)은 자동차 및 가전제품 애플리케이션을 위해 28nm보다 큰 확립된 노드에 중점을 두고 DUV 리소그래피 장비에 대한 더 많은 주문을 촉발하는 생산량 수준을 늘렸습니다. 미국, 유럽, 중국 등 전 세계 정부 당국이 발표한 반도체 인센티브와 국내 생산 보조금으로 인해 DUV 장비에 대한 추가 수요가 발생했습니다. 제조업체는 공급망 문제가 인플레이션 압력 및 지정학적 긴장 고조와 함께 지속되어 다양한 조달 접근 방식과 현지 생산 능력의 필요성이 높아지기 때문에 지속적인 시장 과제에 직면해 있습니다.

최신 트렌드

시장 성장을 촉진하기 위해 ArFi(Argon Fluoride Immersion) 리소그래피 채택 증가

시장에서는 다중 패터닝 기술을 사용하는 ArFi(ArFi) 리소그래피에 대한 선호도가 높아지고 있습니다. 왜냐하면 DUV 장비가 원래 기대 이상으로 고급 반도체 노드에서 작동할 수 있도록 돕기 때문입니다. 반도체 회사들은 EUV 리소그래피가 7nm 미만 생산에 도달하지 못할 때 ArFi DUV 시스템을 통한 Self-Aligned Double Patterning과 Quadruple Patterning과 같은 고급 멀티 패터닝 기술이 실행 가능한 솔루션이라는 것을 알고 있습니다. 파운드리는 EUV 기술을 즉시 사용하지 않고도 이 전략을 통해 고밀도 칩 생산을 유지하면서도 현재 DUV 설정을 계속 사용합니다. TSMC와 삼성, 인텔 등 주요 반도체 제조업체가 최적화한 DUV 기반 멀티 패터닝 기술은 AI 기술과 5G 및 자동차 애플리케이션에 대한 시장 수요를 지원하여 중요한 시장 추세가 되고 있습니다.

• 미국 상무부에 따르면 현재 반도체 제조업체의 70% 이상이 중급 노드 생산을 위해 DUV 리소그래피 기계를 통합하고 있습니다.

• 반도체 산업 협회(Semiconductor Industry Association)는 최근 제조 공장의 장비 업그레이드 중 40%가 정밀성 향상을 위한 향상된 DUV 시스템에 중점을 두고 있다고 보고합니다.

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DUV 리소그래피 기계 시장 세분화

유형별

유형에 따라 글로벌 시장은 건식 및 침수식으로 분류될 수 있습니다.

• 건식 DUV 리소그래피: 공기는 건식 DUV 리소그래피 시스템에서 매체 역할을 하며 회절의 영향으로 인해 해상도가 65nm로 제한됩니다. 이 기술의 주요 용도는 90nm에서 45nm까지의 반도체 노드에 적용하는 것입니다. 이러한 장치에는 고정밀 수준이 필요하지 않기 때문입니다. 이 기술은 기존 반도체 기술뿐만 아니라 수많은 전력 시스템 장치 및 센서 애플리케이션에 사용되므로 경제적 이점을 제공합니다.

• 침지(침지) DUV 리소그래피: 침지 또는 침지 DUV 리소그래피(ArFi)에서 초순수는 렌즈와 웨이퍼 사이의 공기를 대체하는 역할을 하여 멀티 패터닝 기술을 사용하면서 해상도를 38nm 이하로 향상시킵니다. 이 기술을 통해 고성능 시스템과 모바일 프로세서, 인공지능 칩 장치용으로 설계된 복잡한 컴퓨터 칩의 제조가 가능해졌습니다.

애플리케이션별

응용 분야에 따라 글로벌 시장은 통합 장치 제조업체(IDM), 파운드리 및 기타로 분류될 수 있습니다.

• 파운드리: 파운드리에서의 반도체 칩 생산은 가전제품은 물론 자동차 및 산업용 애플리케이션의 요구 사항을 충족하기 위해 DUV 리소그래피에 의존합니다. 28nm부터 시작하는 고급 노드 칩 생산은 멀티 패터닝 기술을 사용하는 7nm~5nm 칩 생산 전과 생산 도중 DUV 리소그래피 기술을 구현하여 정점에 이릅니다. 파운드리용 대용량 반도체 생산은 TSMC, Samsung, GlobalFoundries 등 선도 기업을 통해 DUV에 의존합니다.

• 통합 장치 제조업체(IDM): 통합 장치 제조업체인 Intel은 Samsung 및 Texas Instruments와 함께 내부 반도체 부품 생산을 위해 DUV 리소그래피를 구현합니다. 시맨틱 회사인 DUV는 GPU 및 전원 관리 IC와 함께 마이크로프로세서에 적용되는 최첨단 및 레거시 반도체 노드 제조에 기여합니다. 조직이 설계, 생산 및 공급망 운영 전반에 걸쳐 완전한 관리 권한을 유지할 수 있도록 하는 모델입니다.

시장 역학

시장 역학에는 시장 상황을 나타내는 추진 및 제한 요인, 기회 및 과제가 포함됩니다.

추진 요인

시장 성장을 위한 반도체 칩 수요 증가

DUV 리소그래피 기계 시장 성장의 요인은 수요 증가입니다.반도체 칩. 특히 28nm 이상의 성숙한 노드에서 작동할 때 기업들이 5G, IoT 및 클라우드 컴퓨팅 기술과 함께 AI를 점점 더 많이 채택하기 때문에 반도체 칩 수요가 증가하고 있습니다. 자동차용 레거시 칩의 대규모 제조,산업 기계가전제품에서는 DUV 리소그래피가 중요한 공정으로 요구됩니다. IDM(Integrated Device Manufacturer)과 함께 파운드리는 생산 능력을 확장하여 증가하는 시장 요구 사항을 충족하기 위해 DUV 장비에 대한 투자를 유지합니다.

• 국립표준기술연구소(National Institute of Standards and Technology)에 따르면, 마이크로 전자 장치에 대한 수요 증가로 인해 전 세계적으로 DUV 리소그래피 장비 설치가 30% 증가했습니다.

• 미국 에너지부는 반도체 제조에 대한 정부 투자가 25% 증가하여 고급 리소그래피 기계에 대한 수요가 증가했다고 강조합니다.

EUV 리소그래피와 비교한 비용 효율성 시장 확대를 위해

EUV 리소그래피는 5나노미터 미만의 반도체 시장에서 가장 발전된 노드 요구 사항을 충족하지만 이를 채택하려면 상당한 기술 투자가 필요합니다. ArFi(Argon Fluoride Immersion) DUV 리소그래피와 다중 패터닝 기술을 결합하여 7nm, 심지어 5nm까지 측정되는 칩을 생산 비용을 절감하면서 만들 수 있습니다. 수많은 제조업체가 완전한 EUV 구현보다 DUV 다중 패터닝 접근 방식을 선택하기 때문에 반도체 산업은 DUV 기계 수요를 유지합니다.

억제 요인

잠재적으로 시장 성장을 방해하기 위해 EUV 리소그래피로의 전환 증가

반도체 제조업체는 극자외선(EUV) 리소그래피가 업계를 지배하게 되는 5nm 미만으로 노드 전환을 수행합니다. EUV 기술을 사용하면 고급 노드의 기존 다중 패터닝 DUV 기계에 비해 더 간단하고 효율적인 패터닝 기능을 사용할 수 있습니다. 파운드리 TSMC는 삼성 및 인텔과 함께 EUV 구현을 가속화하여 고급 마이크로칩 생산에서 DUV 기계에 대한 장기적 요구 사항을 줄일 수 있습니다.

• 연방거래위원회(Federal Trade Commission)는 DUV 리소그래피 기계의 높은 비용으로 인해 중소형 반도체 회사의 28% 채택이 제한되고 있다고 보고합니다.

• 국제전기기술위원회(International Electrotechnical Commission)에 따르면 기술적 복잡성과 유지 관리 요구 사항으로 인해 계획된 DUV 장비 설치가 22% 지연됩니다.

시장에서 제품에 대한 기회를 창출하기 위한 성숙 노드 반도체 수요 확대

기회

 

자동차 전자 장치 및 IoT 장치와 함께 산업 자동화에는 수요가 계속 증가하는 성숙한 노드 칩(28nm 이상)이 필요합니다. 반도체의 생산 연속성을 위해서는 EUV 대신 DUV 리소그래피 기계를 사용하는 많은 애플리케이션이 필요합니다. 이러한 애플리케이션에는 EUV 사용이 필요하지 않기 때문입니다. 파운드리에서는 증가하는 시장 요구 사항으로 인해 DUV 기반 팹을 사용하는 시설을 계속해서 확장하고 있습니다.

• 미국 에너지부는 자동차 전자 장치의 애플리케이션 확장이 DUV 리소그래피 시장 성장을 위한 35%의 기회를 창출한다고 밝혔습니다.

 

• 반도체산업협회(Semiconductor Industry Association)에 따르면 IoT 장치의 센서에 대한 수요 증가로 DUV 장비 배치가 30% 증가했습니다.

 

EUV 및 신흥 리소그래피 기술과의 경쟁은 소비자에게 잠재적인 도전이 될 수 있습니다.

도전

 

5nm 이하로 이동해야 하는 반도체 회사는 EUV 리소그래피를 선택하고 있습니다. EUV 리소그래피는 더 간단한 멀티 패터닝 요구 사항으로 보다 효율적인 생산을 제공하기 때문입니다. 기술 분야에서는 NIL(나노임프린트 리소그래피)과 직접 기록 전자빔 리소그래피를 포함하는 두 가지 새로운 리소그래피 방법의 출현이 목격되고 있습니다. 이러한 전환은 장기적으로 첨단 반도체 칩 생산을 위한 핵심 기술로서 DUV의 입지를 위협합니다.

• 국립표준기술연구소(National Institute of Standards and Technology)는 공급망 중단으로 인해 최근 몇 년 동안 DUV 기계 배송이 18% 지연되었다고 지적합니다.

 

• 미국 상무부에 따르면 EUV 기술과의 경쟁이 심화되면서 DUV 시장 확대에 어려움을 겪고 있습니다.

 

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DUV 리소그래피 기계 시장 지역 통찰력

• 북아메리카

북미는 이 시장에서 가장 빠르게 성장하는 지역입니다. 미국 DUV 리소그래피 기계 시장은 여러 가지 이유로 인해 기하급수적으로 성장해 왔습니다. CHIPS 법은 국내 반도체 제조에 대한 미국의 다른 투자와 함께 DUV 리소그래피 기계 시스템에 대한 수요를 증가시킵니다. Intel GlobalFoundries Texas Instruments는 다른 회사와 함께 성숙한 노드 생산과 고급 노드 생산을 위해 DUV 리소그래피 시설을 계속 확장하고 있습니다. ASML은 Lam Research 및 Applied Materials와 함께 지역 시장 전반으로 사업을 확장하고 있습니다.

• 유럽

유럽은 산업 및 AI 칩과 함께 자동차 부품용 DUV 리소그래피 도구 생산을 늘리면서 반도체 독립을 달성하기 위해 EU 칩법(EU Chips Act)을 시행합니다. STMicroelectronics는 Infineon과 함께 DUV를 사용하여 전력 및 자동차 반도체를 제조하고 있습니다. 네덜란드에 본사를 둔 ASML은 글로벌 시장을 위한 DUV 장비 제조 부문의 선두 기업으로 자리매김하고 있습니다.

• 아시아

아시아 제조센터는 TSMC와 함께 DUV와 EUV 노광 시스템에 투자하는 삼성, SK하이닉스 덕분에 최대 반도체 생산센터라는 타이틀을 유지하고 있다. 수출 제한에 맞서 중국은 DUV 기반 제조 시설을 빠르게 늘리고 있습니다. 일본 회사인 Canon과 Nikon은 지역 전체의 반도체 제조 발전을 지원하기 위해 DUV 기계 생산을 유지하고 있습니다.

주요 산업 플레이어

혁신과 시장 확장을 통해 시장을 형성하는 주요 산업 플레이어

주요 업계 참가자들은 전략적 혁신과 시장 확장을 통해 DUV 리소그래피 기계 시장을 형성하고 있습니다. 이들 회사는 제품의 품질과 성능을 개선하기 위해 고급 기술과 프로세스를 도입하고 있습니다. 또한 다양한 고객 선호도에 맞춰 전문화된 변형을 포함하도록 제품 라인을 확장하고 있습니다.

• 네덜란드 정부 보고서에 따르면 ASML은 DUV 리소그래피 시스템에서 65% 이상의 시장 점유율을 차지하고 있으며 시스템 개선을 위한 R&D에 2억 달러를 투자했습니다.

• Nil Technology는 일본 무역 데이터에 따라 신흥 반도체 시장을 위한 비용 효율적인 DUV 솔루션에 중점을 두고 전 세계적으로 150개 이상의 장치를 배치했습니다.

또한 디지털 플랫폼을 활용하여 시장 도달 범위를 확대하고 유통 효율성을 향상시키고 있습니다. 연구 개발에 투자하고, 공급망 운영을 최적화하고, 새로운 지역 시장을 개척함으로써 이들 플레이어는 DUV 리소그래피 기계 시장 내에서 성장을 주도하고 추세를 설정하고 있습니다.

최고의 DUV 리소그래피 기계 회사 목록

• ASML [Netherlands]
• Nil Technology [Denmark]
• Canon [Japan]
• Nikon Precision [Japan]

주요 산업 발전

2022년 9월: 반도체 제조업체인 ASML은 제조 부문의 대량 생산 요구 사항을 겨냥한 엘리트 DUV 리소그래피 시스템인 TWINSCAN NXT:2100i를 출시했습니다. 이 시스템은 시간당 295개의 웨이퍼 속도로 작동하여 노드 아래 3nm 및 더 작은 레이어에 가장 저렴한 기술을 제공합니다.

보고서 범위       

이 연구는 상세한 SWOT 분석을 제공하고 시장 내 향후 개발에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다. 시장 성장을 이끄는 다양한 요인을 탐구하고, 향후 몇 년 동안 그 궤적을 형성할 수 있는 광범위한 시장 부문과 잠재적 응용 프로그램을 조사합니다. 분석에서는 현재 추세와 역사적 이정표를 모두 고려하여 시장 역학에 대한 포괄적인 이해를 제공하고 잠재적인 성장 영역을 강조합니다.

DUV 리소그래피 기계 시장은 진화하는 소비자 선호도, 다양한 애플리케이션에 대한 수요 증가, 제품 제공의 지속적인 혁신에 힘입어 상당한 성장을 이룰 준비가 되어 있습니다. 제한된 원자재 가용성 및 높은 비용과 같은 문제가 발생할 수 있지만 시장 확장은 전문 솔루션 및 품질 개선에 대한 관심 증가로 뒷받침됩니다. 주요 업계 업체들은 기술 발전과 전략적 확장을 통해 발전하여 공급과 시장 도달 범위를 모두 향상시키고 있습니다. 시장 역학이 변화하고 다양한 옵션에 대한 수요가 증가함에 따라 DUV 리소그래피 기계 시장은 지속적인 혁신과 광범위한 채택을 통해 미래 궤도를 촉진하면서 번성할 것으로 예상됩니다.